紫外臭氧清洗机UVO9
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紫外臭氧清洗机(UVOzone Cleaner, UVO),是一种简单,经济,快速高效的材料表面清洗设备,能快速去除大多数无机基材(比如石英,硅片,金,镍,铝,砷化镓,氧化铝等)表面上的有机污染物。
更新时间:2021-04-16 09:32:41
CIF紫外臭氧清洗机采用长寿命UV石英低压汞蒸汽格栅灯,样品台高度可调并可选配加热控温功能,以达到z佳清洗效果。
按键式紫外臭氧清洗机
触屏式紫外臭氧清洗机
产品特点
v UVO基础型采用可编程数字控制器,设置操作简单方便,四键操作控制。UVOP和UVOT系列采用5寸彩色触摸屏设置显示计时时间及加热温度。
v 自动补偿功能,自动恒定光强光密度,不会因为低压汞灯老化光强衰减影响清洗效果。
v 数字倒计时显示清洗时间,1-999分钟之间可自行设置清洗时间。
v 可随时手动中断处理过程。
v 自动记录之前清洗参数设置。
v 样品台可控温(可选),控温范围RT-260℃,控温精度0.1℃。
v 顶置下压式铰链开关盖方式,操作简单方便。
v 上置式样品台设计,360度自由放置样品,操作方便。
v 样品台高度可调,通过调节灯与样品之间的间距,可以合理定位样品高度和位置,并可锁定。
v UV石英低压汞蒸汽格栅灯,灯管寿命大约为8000小时。
v 高强度UV灯源,波长185nm和254nm。
v UV反射罩(长x宽)比UV格栅灯大2.5cm,比如规格为13x13cm格栅灯反射罩尺寸大于15×15cm。
v 双重安全保护,当清洗腔打开时,系统安全锁会关掉UV灯,并有灯光通断提示。
v 带进&出气口双气路设计,可接入氧气或者臭氧,增加臭氧产量。
v UVO5可选外置臭氧中和器,UVO9、UVO12系列可选外置或者内置臭氧中和器,用于臭氧清除。
v 可根据客户要求定制铝或石英材料真空反应腔。
技术参数
产品型号 | UV灯尺寸cm | 样品台高度cm | 主机重量kg | 外型尺寸(LxWxH)cm |
UVO9/UVO9P/UVO9T | 23x23 | 5cm内可调 | 12.5 | 60x50x20 |
注: UVO基础型样品台不带加热功能,样品台高度可调;UVOP可选配样品台加热功能,样品台高度可调;
UVOT标配样品台加热功能,样品台高度可调。
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